好的空间日志范例精编4篇

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好的空间日志【第一篇】

[关键词] QQ空间 课外 育人阵地

新世纪前后，我国的高等教育进入了一个迅速发展期。教学对象大众化，教学内容通识化，教学场所郊区化，成为众多高校日常教学的共同特征。对高校任课教师来说，教学对象的大众化意味着教学难度在加大，教学内容的通识化意味着每门课程的课堂学时在减少，教学场所的郊区化意味着师生的相处时间在变短。形势逼人强，许多高校教师与时俱进，在努力提高课堂教学效率和教学质量的同时，还积极利用网络和通信技术的进步，大力开拓课外教学阵地，从各个渠道加强对学生学业和思想的指导。课程网站、教师博客应运而生，有效地弥补了课堂教学时间的不足，保证了教学任务的完成。不过，随着在线即时通讯工具QQ的普及，它和它的附加产品――QQ空间也应受到高校教师的重视，我们应充分利用它们的种种优点，将其打造成一个和课堂教学相辅相成的又一个课外学习和交流平台，为教书育人开辟出一块新阵地。

一、把QQ空间开辟为育人新阵地的可能性

博客(Blog)是一种网络日志，记载了日常发生的事情和自己的兴趣爱好，同时又是一种新的信息管理和工具，通过网络连接，可以把自己的所知所爱所想和他人分享、交流。博客作为一种新的生活方式和交往方式，已经被越来越多的人所接受和使用，并且在改变着传统的网络和社会结构。QQ空间(Qzone)是腾讯公司于2005年开发出来的网络个性空间，具有博客的功能，但与其他门户网站的博客相比，它有3个突出特点：

1.进入便捷。它是腾讯公司主打产品――在线即时通讯工具QQ的延伸产品，只要拥有QQ号就可以立时开通QQ空间，登录QQ号就显示QQ面板，点击面板空间标记Z就可以迅速进入自己的QQ空间。

2.功能齐全。QQ空间基于博客，高于博客。一般博客只有日志、评论、音乐、相册4个功能，但QQ空间除了这4个功能外，还集游戏、动态、装饰、送礼、读书、共享、升级等各种功能于一身，可谓“麻雀虽小，五脏俱全”,可同时满足使用者的各种需求。

3.信息即显。QQ空间不仅可以像其他博客一样满足自己写作、看评论的需要，还可以随时了解朋友们新近在做什么或想什么。因为只要进入QQ空间，个人中心就会显示好友空间的更新情况，这样无需刻意查找或链接，就可以在第一时间内掌握所有好友的最新动态。

基于以上诸多优点，QQ空间在2005年推出后，马上得到众多人尤其是年轻人的青睐和追捧，一跃成为腾讯公司的第二大拳头产品。据了解，高校学生中几乎人人都有QQ号，有的人还不止拥有一个QQ号，而有QQ号的人十有八九都会开通QQ空间，通过它来抒发自己的情感或与人进行思想交流。所以，把QQ空间作为课外育人平台，既是高等教育发展的客观需要，同时也是现实和可能的，和其他网络载体如课程网站、教师博客相比，QQ空间有着它自己的内在优势。

二、把QQ空间打造成为课外育人平台的优势

空间和QQ面板相连，进出方便，学生青睐，有助于发挥教师的主导作用。QQ空间作为QQ的后续产品，虽然推出时间不长，在大学生中非常普及，包括大一新生。虽然很多高校规定，大一学生不允许自带电脑。但自从手机能够上网后，腾讯公司顺势推出手机QQ,让那些QQ使用者，即使没有电脑也能随时随地登录QQ,实现QQ在线。每天挂QQ、查阅QQ空间，已经成为众多学生的一种生活状态，而在QQ空间里写日志、写心情，也成为学生抒发心情、交流思想的普遍方式。所以，只要教师开通QQ及QQ空间，和学生结成好友关系，那么一有新日志推出，就会在学生的QQ空间中显示出来，即使是学习主动性不强的学生，在收到教师的日志更新信息后，也有可能随时进入教师的QQ空间，浏览阅读相关日志。相比之下，进入课程网站和其他形式的教师博客的过程要复杂一些，如果没有动力或压力，学生经常光顾的可能性不高。开通和维持QQ空间无需经费和设备投入，但由于它和使用最广泛进入最便捷的网络通讯工具QQ相衔接，反而容易得到学生的青睐，从而使教师的空间文字(包括教师的思想认识和学生的评论留言)被较多的同学看到，继而对他或她的思想行为产生潜移默化的影响。因此，只要有心利用QQ空间，它一定拥有可以较高的浏览率，从而极大发挥思政教师对学生的思想引导作用。

空间属于半私密空间，有助于消除师生代沟，建立和谐融洽的师生关系。和谐融洽的师生关系是有效进行教育活动、完成教学任务的重要条件。尤其是思政理论课，它的课程性质决定了学生不可能如重视专业课一样重视它，因此教师的个人魅力与和谐的师生关系对教学效果有着决定性影响。由于课时的减少以及学校的郊区化，师生的面对面接触和交流相对有限。虽然师生还可以通过电话、短信、电子邮件进行互动，而实际上，除非十分需要，学生一般不会直接联系公共课教师。思政理论课教师和学生间的的代沟较其他课程的要深，这对提升思政理论课的教学质量是非常不利的。QQ空间是个人信息与交流平台，属于半私密空间，一般只对好友开放。现在要把它作为课外育人平台，意味着向学生开放思政教师的心灵空间。通过空间文字及教师在空间种种表现，学生接触到思政老师平时很少展示在他们面前的那一面，不仅可以全方位了解思政教师的思想和学识，同时还可以了解到思政教师和他们相同相通的一面。这时的思政教师在学生眼里，不再是教室里那个高高在上的代表国家意识形态的刻板形象，而就是坐在他们中间的一位跟他们一起谈天说地的亲朋好友。当教师以平等的身份出现在学生前时，师生间的距离骤然缩短，师生间的关系也会日趋融洽。只要学生认可思政教师的良师益友身份，思政教师的课堂教学就不会被他们认为是空洞的说教，思政教师的所言所思就会真正得到学生的共鸣。

空间文字双向即显，有助于教师了解学生，有针对性地进行课业和思想辅导。QQ空间的一个突出特点就是能即显好友的空间动态，这就意味着师生在成为QQ好友后，随时可以通过空间文字来了解对方最近情况。学生可以上教师的空间溜达评论，教师可以上学生的QQ空间浏览留言。由于QQ空间是半私密的个人日记本，不是所有人都能浏览，学生的空间文字也不是专门写给教师看的，所以教师看到的完全是学生真实的思想状态。对大学思想政治理论课来说，提高教学实效性的最有效措施就是加强教学的针对性，而全面深入了解学生是加强教学针对性的前提。QQ空间为我们提供了这种可能，它可以让我们随时直接了解学生所想所为并发现问题，这不仅让我们的课堂教学更加有的放矢，而且就是从育人工作本身来说，在发现问题时马上着手解决问题也是最有成效的。教师可以立即通过QQ空间针对学生提出的或存在的问题发表指导意见。在QQ空间里，由于大家基本都是匿名出现，师生又是平等的好友关系，学生完全可以放下各种心理顾虑，大胆阐述自己的看法和主张，从而极大地增加师生交流的次数和频率，在此基础上进行的师生交流互动也必然更加真挚深入，达到真实课堂所不能达到的效果。

空间可以存删文字，有助于师生深入研讨问题，充分发挥学生的学习主体作用。学生是教的对象，学的主体，在教学过程中，学生不仅是接受者，还应该是参与者。由于每门课程的课堂课时有限，要把所有教学疑难问题讲清讲透难度很大。以中国近现代史纲要为例，教学内容涉及1840年以来的160多年历史，一周却只有两个学时，又是大班上课，所以教师的课堂讲授和同学讨论发言都不能尽兴，学生的学习主体地位很难得到充分体现。但QQ空间不同，不仅教师可以根据需要淋漓尽致地写日志，学生也可以无所顾忌无限地发表自己的评论。所以课堂不能充分阐释或不便展开的问题，完全可以拿到QQ空间里进行争论或研讨。在QQ空间里，学生不仅可以看到教师的观点，还可以看到其他同学的看法。为了和老师、其他同学进行讨论交流，他必定要做一定的相关准备，如查阅资料、理清思路。所以，QQ空间既延伸了思政教师的教学阵地，又大大地激发了学生的学习主动性，让他们的思考更深入，让他们的思维更加开阔。

三、如何把QQ空间打造成为育人新阵地

1.教师勤更空间日志，内容既要吸引学生又要注意导向。教师开通QQ空间并向学生开放后，对空间的管理就不能随心所欲，日志要经常更新，内容要注意分寸。向学生开放的日志可以是教学内容，也可以是社会见闻，生活杂感。涉及教学内容的一定要找准切入点，既和课程教学要求密切相关，又能引起学生的关注和兴趣，如《中国近现代史纲要》课程，如果想和学生在QQ空间里探讨，最好是选择那些争议性较大的问题或人物，否则不能吸引学生，不能提高他们的历史思辨能力，从而把课程的教学要求真正落实到实处。所以教师对待日志写作一定要和对待课堂教学一样认真，尽量做到既能吸引学生的眼球，又要确保内容的导向性，使学生在其中受到正面教育和影响。

2.鼓励学生在教师空间畅所欲言，对学生的疑难和存在的问题要及时反馈。老师一旦确立QQ空间的教育定位，必须采用各种方式鼓励学生进入自己空间，让师生交流成为常态。让学生加自己为好友只是基础，关键是学生要浏览自己的空间日志，并让自己苦心撰写的日志在学生心中留下记忆。所以一定要有激励机制，如把学生的留言作为平时成绩的一个考核来源。另外，发现学生的问题要及时处理解决，对学生的不同意见或疑问要及时反馈。只有这样，QQ空间才不会沦为思政教师自娱自乐的工具，才能真正发挥课外育人阵地的作用。

3.建立课程QQ群与之互补，在更大范围内实现互动与共享。QQ群是腾讯公司推出的以共同兴趣为基本点的多人聊天交流服务名称，在群内除了聊天，腾讯还提供了群空间服务。与QQ空间的个性化不同，它是一个小范围的公共空间，群友既独立又共处是它的特点。开通了课程QQ群及群空间，意味着同一门课程的学习者有了一个共同学习、交流、讨论、碰撞的平台。教师继续发挥主导作用，学生的资源也可以利用起来，大家在相互启发和相互教育中共同实现提高。

好的空间日志【第二篇】

关键词：系统日志；日志格式；安全保护；实时备份

中图分类号：TP309文献标识码：A文章编号：1009-3044(2009)14-3817-03

Research on Safety Protection Technology of System Log File

LU You-min

( of Computer Science and Technology, Huaihua University,Huaihua 418008,China; of Computer and Communication Hunan university,Changsha 410082,China)

Abstract: Log in host intrusion detection and evidence of computer crime in the irreplaceable role, through in-depth analysis of the host system log can be found the abnormal behavior and the traces of the perpetrators left , computer intruders and offenders by removing or tampering to damage the log records of their operation.,to avoid the follow-up、Safety Audit and criminal evidence by system administrators and , Log’s security on host is directly related to the security of computer this paper, researched the existing log's safety protection technology,and give a new method.

Key words: system log; log format; security protection; real-time backup

1 引言

所谓日志[1](Log)是指系统所指定对象的某些操作和其操作结果按时间有序的集合。每个日志文件由一条一条的日志记录组成，每条日志记录描述了一次单独的系统事件。通常情况下，系统日志是用户可以直接阅读的文本文件，其中包含了一个时间戳和一个信息或者子系统所特有的其他信息。日志文件为服务器、工作站、防火墙和应用软件等IT资源相关活动记录必要的、有价值的信息，这对系统监控、查询、报告和安全审计是十分重要的。日志文件中的记录可提供以下用途：监控系统资源；审计用户行为；对可疑行为进行告警；确定入侵行为的范围；为恢复崩溃的系统提供帮助；生成调查报告；为打击计算机犯罪提供证据来源。

日志对于系统安全来说如此重要，它记录了系统每天发生的各种各样的事情，为了维护系统自身资源的运行状况，计算机系统一般都会有相应的日志来记录系统有关日常事件或者误操作警报的相关信息。通过日志可以来检查系统错误发生的原因，受到攻击时追踪攻击者留下的痕迹，系统崩溃时可以用日志技术进行恢复文件。而计算机入侵者和计算机犯罪者通过删除、篡改等方式来销毁或破坏被攻击系统上的其操作所留下来的日志记录，最终躲避系统管理员和专业人员的追踪、审计和犯罪取证。因此，系统日志对于保护计算机系统软硬件资源具有不可替代的作用，系统日志的安全直接关系到计算机系统的安全。

2 日志的分类

日志的种类各式各样，日志数据存放所采用的格式并没有得到统一，要想对日志进行统一的安全保护，必须得先要解决日志的格式问题。下面先来看看日志的分类。

日志就是记录的事件或统计数据，这些事件或统计数据能提供关于系统使用及性能方面的信息。审计就是对日志记录的分析并以清晰的、能理解的方式表述系统信息[2]。利用日志对系统进行安全审计是日志被使用的一个重要方面，日志数据是安全审计系统的重要数据来源。而安全审计系统可以利用的日志大致分为以下四类[3][4]:操作系统日志、安全设备日志、 网络设备日志、 应用系统日志。

1) 操作系统日志

操作系统日志可以分成两大类：Windows 系统日志和Linux/Unix 系统日志。Windows NT/2K/XP 的系统日志文件有应用程序日志、安全日志和系统日志等。在Linux/Unix 系统中， 有三个主要的日志子系统： 连接时间日志、进程统计日志和错误日志。

2) 安全设备日志

安全设备日志是指网络安全设备产生的日志，网络安全设备有防火墙， 入侵检测系统等，各设备产生的日志格式各不相同。

3) 网络设备日志

网络设备日志是指网络中交换机、路由器等网络设备产生的日志。

4) 应用系统日志

应用系统日志包含由各种应用程序记录的事件。有Apache 日志、IIS 日志等。

由上可见，要想进行安全审计，或是利用日志进行计算机犯罪取证，必须先对各种不同格式的日志进行整合，统一它们的格式，然后在统一格式的基础上，对这些日志进行统一的安全保护，才能确保安全审计和计算机犯罪取证的正确进行。

3 统一日志格式的方法

日志保护技术在对这些日志数据采取保护措施之前，必须先做好日志格式的整合工作，统一日志记录的格式，在统一格式的基础上，对日志文件进行统一的保护处理。对日志格式的统一往往使用以下方法：

1) 对各种不同格式的日志，取用各种日志记录中共有的公共属性值，即取各种日志记录中属性的“交集”, 把这些公共属性值作为统一格式的日志记录所包含的信息。但这种方法把原有的各种日志记录中的一些属性值忽略去掉了， 使得审计的粒度变大变粗了。

2) 使用某种语言(如XML语言),把各种不同格式的日志记录翻译成统一格式。这种方法主要是通过先定义一种结构体类型的数据结构，把各种日志记录中所包含的数据项映射成这种数据结构中对应的数据类型。用这种方法，构造出来的数据结构应能把各种日志记录中的属性项都考虑进来，使得任何日志记录的属性项都能转换成该数据结构中对应的数据类型，所以，使用这种方法，往往把通过格式转换后的日志记录都会变大，自然会给存储空间和存取时间带来大的开销。

4 现有的日志安全保护技术

所有的日志文件都有默认位置，如在Windows系统中，系统日志文件有应用程序日志、安全日志和系统日志、DNS日志等，日志文件的默认位置在%systemroot%\system32\config 目录下。入侵者和计算机犯罪分子很容易对其中的日志文件进行浏览阅读和更改甚至删除。日志文件有默认的大小，如Windows系统中，默认的日志文件大小为512KB,当然，系统管理员可以改变这个默认大小，但是并不是所有日志所对应的系统的使用者特别是普通用户都会去更改这个大小，这使得入侵者和计算机犯罪分子有机可乘，他们可以进行很多无用的操作，而这些操作所对应的审计记录被大量的写入日志文件所对应的空间，当日志文件空间不够时，因系统或设置的不同，这时要么采取覆盖以前的日志记录、要么采取不记录后面的日志信息的方法来处理。用这样的方法，最终使得入侵和犯罪的痕迹无法保存在日志文件里面。不管是用哪种方式来破坏日志，最终都导致日志信息变得无效，使得依赖于日志进行的安全审计、入侵检测和计算机犯罪取证都无法正确得出结果，因此日志的安全保护势在必然。现有的日志安全保护技术和措施有[1]:

1) 系统日志读写权限的安全设计

现在的操作系统，在root权限下可以进行任何操作。因此入侵者一旦拿到root权限，就可以对日志文件进行随意的操作，从而可以破坏日志。从这个角度出发，设计一种新的安全认证机制来提升系统日志的安全读写权限，确保日志信息即使在入侵者拿到root权限的情况下也无法对日志文件进行修改、删除操作。

因此，可以通过修改操作系统的内核来改变文件系统，增加文件系统的读写权限；或者使用一种特殊的系统进程对日志文件进行安全保护。

但修改操作系统内核在实现上具有较大难度不易推广，而使用特殊的日志守护进程来保护日志安全，又存在守护进程本身的安全问题，一旦守护进程被杀死，那么对日志的守护工作也就结束。

2) 系统日志文件的实时备份

系统日志的实时备份，是出于即使在日志文件被破坏后，还有备份好的完整、有效的日志供使用。该方法与系统日志读写权限的安全设计的方法不同，系统日志读写权限的安全设计的方法是尽量保护日志不被破坏(该方法对现有的操作系统实现起来比较困难不太现实),而系统日志文件的实时备份的方法并不能保证日志不被破坏，而它往往是在日志被破坏的时候起作用(对已有的操作系统，日志保护使用这种方法比较普遍)。使用这个方法，必须确保备份的日志原始、完整、真实和有效，所以在备份时一定要实时，在日志记录一产生还没被破坏前，就进行了备份并且转移到别的地方进行安全存储。

根据备份后的日志转移存放的位置不同，系统日志文件的实时备份又可以分成本地备份存储和异地备份存储。

本地备份存储就是把产生的备份文件放到不同的目录下面，而且每次放的目录都不一样，在别人看来，这个目录的位置是随机不确定的。这种方法在恢复备份的时候就比较困难些，并且，如果是使用这种方法来保护日志的话，即使入侵者和计算机犯罪分子不知道备份文件具体放到哪个目录下，但却一定能确定备份文件就在本机器上，他可以使用其他的方法破坏系统使系统崩溃和格式化磁盘的方法，删除掉备份文件。

异地备份存储，都要使用网络技术，把备份好的日志文件要转移到其他机器或专门的存储设备上去。用这种方法存在的缺点有，一、会增加网络数据传输的负担；二、数据在传输过程中的安全性问题，备份数据在网络的传输的过程中，可能会遭到攻击，要么使得传输的数据无法正确的到达目的地，要么使得数据在途中可能遭到篡改而变得无效；三、备份数据在异地的安全存放同样是个不可忽视的安全问题；四、使用异地存储，自然会多开销：网络带宽的开销、存储备份文件的硬件开销和管理开销，之所以提到这一点，是因为普通的用户和一般的单位负担不起这样的开销，他们遭到攻击和计算机犯罪窃取资料的情况是很普遍的，这样的用户和公司大有存在，但因开销不起，从而导致异地存储实时备份日志文件的保护方案无法实施和推广。

5 新的解决方案

对日志的保护，只有两种：一种是保护其不受破坏；一种是保护其破坏后能恢复原样。而上面提到的两种方案就是对应着这两种情况来进行的。但其都存在着一定的局限性，针对现有保护技术的缺陷，在这里提出一种新的方法，有待探讨。

因现在的用户普遍使用windows和Linux/Unix类的操作系统，前面提到，对操作系统再做更改的工程量比较大，还可能对操作系统的稳定性和运行效率带来影响，所以系统日志读写权限的安全设计保护措施难以实现和推广，因此往往使用实时备份的方案来解决日志的保护问题，但是用异地转移存放备份日志的局限性也比较大，在本文提出的方案中，考虑用本地存储备份文件的方式来解决。

前面提到本地存储备份文件的缺点是：一、难以从“随机”选取的存放备份的目录中收集备份，二、入侵者和计算机犯罪分子可以对本地磁盘进行格式化操作从而把数据销毁掉，这是本地存储备份文件碰到的最大难题。针对着这一难题，我们可以在计算机主机上开发一个接口，类似于USB一样的存储接口。现在的存储磁盘(不管是固定的还是可移动的)存储容量越来越大而且也越来越便宜，普通用户哪怕是个人都能消费得起，并且对于需要大空间日志的存储是一个福音，这是考虑用本地存储备份文件的一个重要原因。在主机上把这个接口做成类似于USB一样的接口，但是在该存储体上要有两个接口，一个接口用于数据的写入，另一个接口用于数据的读出，存储体上的两个接口都共用主机上的同一个接口，在数据写入状态下，把写入接口端插到主机上，在读取查看或删除时，读出接口端插到主机上。与USB接口不同的是，该接口要有认证机制，只有通过认证才可以使用该接口来对数据进行写入、修改和删除操作，确保把无效数据写入对应的存储空间，也保证对该空间的数据进行非法的修改和删除。当然在备份数据写入之前，要先验证备份数据的原始性、完整性和有效性，并可对备份数据进行压缩，来提高存储空间的使用率，确保该空间里存放的数据是合法、可用和有效的。除此之外，在设计这个接口和存储体时，可以设计成附带锁和钥匙的功能，做到专门的设备有专门保管，防止公司内部人员使用计算机犯罪窃取资料或搞报复搞破坏的情况，在这种情况下，如果该存储体不带锁具和钥匙，内部人员在现场使用自己的计算机对本机进行了非法操作后，可以把存储体的读出接口端调过来插到主机上，自然能够容易通过认证，从而可以达到破坏主机日志和备份日志的目的，使得对其从法律角度上犯罪取证造成困难。

6 总结

日志的安全存放确实存在很大问题，特别是对已有的操作系统和产品因设计时在此方面考虑不周而更是突出。但现在却没有一个好的解决方案，如何确保日志安全是一个值得我们去好好深入研究的问题。

参考文献：

[1] 林辉，窦F.系统日志的安全保护[J].计算机工程，2003(17).

[2] Matt Bishop.计算机安全学导论[M].王立斌，黄征，译。北京：电子工业出版社，2005,284-303.

[3] 石彪，胡华平，刘利枚。网络环境下的日志监控与安全审计系统设计与实现[J].福建电脑，2004,(12).

好的空间日志【第三篇】

关键词：半导体；半导体设备；涂胶显影机；晶圆传送方法；产能计算 文献标识码：A

中图分类号：TN305 文章编号：1009-2374（2016）04-0071-02 DOI：//

1 概述

半导体设备涂胶显影机是一种将不同工艺制程的机台整合在一起，作为一个整体的制程装备。该设备由载片系统、传送系统和制程系统三部分构成。典型的半导体集束型装备Track机是半导体前道工序设备中黄光区设备之一，其主要功能是光刻胶在晶圆表面的涂敷和显影。随着半导体装备光刻机新技术的发展，光刻机产能也在快速提高，特别是ASML公司的TWINSCAN技术以及未来基于传统TWINSCAN平台的双重曝光等新兴技术的成熟，更进一步提高了光刻机的产能，而涂胶显影设备作为与之协作的连线设备，为了匹配高产能力，半导体生产线也对机器人晶圆传送方法提出了更为严苛的要求。

2 晶圆传送发展历程

晶圆传送方法和集束型装备的布局有很大关系，根据其布局的不同，分为以下两类：

早期轨道式布局

式中：TPi为单元工艺加工时间；TR为单元间传送时间；Ti为空闲系数。

改良轨道式布局

早期轨道式装备的产能主要受加工单元布局制约，单元加工时间远大于晶圆传送时间，因此产能瓶颈是单元加工时间，为了平衡单元加工时间，提高主单元的利用率，产生了二代轨道式设备，如图2所示：

产能计算公式：

（2）

式中：TPi为单元工艺加工时间；TR为单元间传送时间；C为一次工作的晶圆数；TPmF为第一片独占设备时间；TPmL为最后一片独占设备时间。

3 复杂型集束设备TRACK的传片结构设计

改良轨道式布局的主单元利用率增加，单个轨道输出产能基本固定，当生产线产能要求很高时，轨道数需要成倍增加，由于是平面设备，空间利用率极低、轨道加工第一片上片和最后一片独占设备时间不能忽略、传送系统效率低下、空闲时间过高等问题突出，因此现在主流设备都采用复杂式布局设备。

复杂型集束设备TRACK，采用立体式设计，传片系统由2个自由度增加到4～5个自由度，可传送单元增加，提高了加工单元的利用率。同时载片系统采用2～4个上片工位，可不间断上片，消除了第一片上片时间带来的产能降低。传片结构如图3所示：

产能计算公式：

（3）

式中：TPi为单元工艺加工时间；TR为单元间传送时间；Tk为调度算法调整系数。

复杂式设备的立体布局，不仅制程单元向堆叠式发展，同时传送系统也由简单线性传送变成了复杂路径择优选择，由于载片系统增加到了4个，每个加工任务（Job）的工艺加工制程顺序由用户配置成加工流程配方（Cluster Recipe），因此传送系统的传送路径选择也必须兼顾多个载片系统同时工作的情况，使得传片的调度必须由专用算法来实现，即传送调度算法。

4 传片调度算法

传片系统调度算法最初产生的目的就是要提高设备使用效率（Uptime，在线时间），提高设备的产能，防止设备发呆情况的发生。

传片调度算法根据不同的机械手（Robot）和缓冲单元（Buffer）确定传送路径，通过循环遍历程序来检查传送路径上的空位，依次进行晶圆配方工艺流程和最佳的传送路径的选择和确定。这种调度算法采用的是实时判断条件、事件/消息驱动的模式，因此又称为实时调度算法。调度流程如图4所示：

其中：“晶圆流片分析”开始分析晶圆工艺配方流程；“最优选择”选择最佳传送路径。“最优选择”即调度算法核心部分。在实时调度算法的基础上，为了满足不同批次工作并行，能得到较好的产能等苛刻情况，增加了单元传送优先级设定、传送时间自优化，机械手取送优先级设定、机械手预移动等方法来提高产能，降低装备应用成本。

5 未来展望

未来的设备研发还在向着更高更多的应用方向发展，对于晶圆产能提高的期望成为客户和工艺共同的目标，进一步地压缩调度算法占用的时间成本，提高调度算法的优化比率，已经是迫切的需求。未来的晶圆传送调度算法，将向着传送时间日志化、显示化、传送路径预生成、传送路径用户自整定的趋势发展。

传送时间日志化、显示化

晶圆传送调度算法在一个调度周期内的传送时间记录成日志文件，并且将这种日志通过可视的图形方式显示给用户，让用户对特定某次的调度算法有一个直观的认识，这就是调度算法中传送时间的日志化显示化。如图5所示：

图示为具有两个robot、两个工艺单元的集束装备上片过程的传送时间日志文件的图形显示。

路径预生成

多个传送时间日志文件集合成数据库，在一个调度周期开始前预先根据这些数据库的记录生成传送路径，这种调度周期预生成，预固定的方式，将调度算法由全运算方式更改为查表方式和运算方式的结合，可以节约运算时间，直接提供可借鉴的优化路径选择。结合传送时间日志显示化，能够让用户在生产前就直观地了解到设备中晶圆的传送情况，并且根据数据库记载和当前的情况的对比，可以预测设备的健康状况，确定设备的维护周期和生命周期。另外，由于传送时间日志文件可以应用在同型号的同类设备上，因此这种文件形成的数据库将为设备增添高附加值，提高品牌价值。

传送路径用户自整定

半导体工艺是半导体行业的核心技术之一，半导体装备制造商的客户都有其独有工艺设计。这些工艺上带来的特定要求将会给传片系统带来不同程度的影响。鉴于这种特定要求是用户核心技术，不但不能推广使用，而且还要求装备制造商为其客户保密，因此允许客户对传送路径的适度修改是比较好的解决办法之一，这样的好处是避免了调度算法因为设计盲区造成装备的某些加工单元较低的利用率，提高了半导体装备对半导体工艺的适应性。由于这种调整完全由客户自主完成，也有利于其核心技术的保护。

6 结语

好的空间日志【第四篇】

一、开通QQ空间，建立QQ群，激发学生发言的兴趣和积极性

在确定所有学生开通了QQ空间之后，我创建一个普通群“语文学习天地”，邀请班上所有同学实名制加入，我当群主，把语文课代表设定为群管理员，协助我对群进行常规管理：把所有群员（学生）分成若干个讨论组，设立组长。分组时，考虑到组内成员的语文水平层次，保证每组有好有差，让他们互相学习，互相促进。这样做非常符合中学生的心理特色，一些在课堂上不愿发言的可以在这个平台上畅所欲言，激发了学生发言的兴趣和积极性，这样有利于激发学生的语文学习兴趣，有效地鼓励学生参与网络阅读和写作。

二、任务布置，鼓励学生积极参与网络阅读和写作

我利用QQ群的群公告栏，上传阅读与写作的要求，也可利用群共享文件，还有在QQ日志上上传一些优秀的作品，提供给学生进行阅读。让学生把阅读体会及写作训练上传到他们日志中和同学分享，也可以在我的日志上上传作品后跟帖讨论。在上完胡适《我的母亲》这课后，我在我QQ日志上上传老舍《我的母亲》和朱德《回忆我的母亲》这两篇文章，并请同学进入我的空间，阅读空间中的3篇文章。且要求学生：

1．根据以下格式回答。

我读了第—（段数）段，　这一段写了母亲（什么事）？表现了母亲（什么性格特征）？　抒发了（什么情感）？我有什么收获（或有什么启发）？

2．每篇文章至少要回答三次（3篇文章共计9次）问题。

3．阅读完文章后请同学写有关母亲的片段。（每个同学至少写3篇）（运用适当的描写方法把人物描写得更丰满）。

4．互相点评5个以上同学的作品。把自己写的有关母亲的片段展示给家人看并让家人点评。

三、阅读与写作训练，促进学生阅读与写作能力的提高

QQ网络平台只是一个开放的平台，可通过师生之间、生生之间的信息互动，促进学生阅读与写作能力的提高。在纸质的阅读与写作中，学生通常反映他们阅读其他同学的作品的机会太少，难以从同学中学到写作知识和技巧。但在QQ网络平台中就不存在这一问题。学生把阅读后的心得体会和好的作文发表在自己的空间后，就有了“作者”“读者”和“老师”的三重身份，自己的作品可以供老师和同学阅读和评估，也可以对同学的作品发表评论。而且老师与学生、同学之间可以随时互动与交流。这样有利于学生取长补短，而且学生非常重视发表在QQ空间里的日志，更加认真，学习能力逐步提高。

例：我阅读了《我的母亲（老舍）》第七段，这一段写了母亲的手终年是鲜红微肿的，母亲给人家洗衣服，母亲还把院子屋中收拾得清清爽爽，还有母亲把父亲遗留下的几盆石榴与夹竹桃照顾得很好。表现了母亲十分勤劳。抒发了作者对母亲的敬佩之情。我从中得到的启示：母亲为了家总是忙忙碌碌，任劳任怨，母亲十分辛苦，十分伟大的！！—陈丽娜

师：你从中得到的启示都是情感方面的，那你在写法方面有什么启发呢　？

陈丽娜：可以从侧面通过一件事去描写某个人的特征。

师：直接落笔写本人言行举止、外表、心理活动及细节都属于正面描写。所以本文段没有使用侧面描写。你再重新判断他的写作手法，你学到什么写法。

陈丽娜：第7段作者抓住了母亲鲜红微肿的手这个细节，和把黑如铁的袜子洗得雪白这个细节，通过这些细节体现了母亲勤劳、做事认真、仔细。那我仿写我母亲的时候我就会找住母亲身体的某个细节来写，如头发、眼神、皱纹来突出母亲的勤劳、辛劳等。

师：对，不错！哪些内容是语言描写、哪些是动作描写、哪些是细节描写等等，要具体到文段或句子来分析。

我把修改的意见直接通过QQ群发给学生传递批改意见，也在针对性的批阅后单独发给学生。在QQ群互动交流中，学生可以表达不同看法，这样学生就可以对自己习作作一次全面修改，形成完整的作文终稿，再上传到自己空间日志内。

这是陈丽娜同学经过修改后上传的习作：在一个寒冷的冬天，妈妈与我出去逛街。在上下九路口摆放着一个四四方方的桌子，上面放着一套文具：书包、彩色笔、笔、笔盒等。还有一张红色的告示，上面写着“献出你们的爱心，只要捐100元就能给贫困山区的孩子送上一套文具”，周围站了很多围观的人，母亲默默地站在那里，从包里掏出皮夹子，我偷眼望了一眼，里面装了两张100元和一些零钞。母亲先掏出一张100元，然后迟疑了一下，又掏出了另外的那张100元。快步地走到捐款箱前，郑重地把200元钱投进箱里。这时母亲一脸轻松的表情。我心里深深触动了，母亲平时节俭惯了，这时却能拿出这么多的钱，我觉得母亲的形象在我心目中一下子高大起来了。

四、作品展示，使学生有成就感和自豪感，促使学生更好的学习

在所有学生上传了作品后，教师可从中挑选3-4篇典型作文，以范文的形式上传至群组织共享文件中，并作永久保留，以供学生学习、欣赏。典型作文既要有优秀作品，也要考虑适当采用基础较差的学生作品，并指出他们作品中所取得的进步和闪光点。